真空干燥箱的工作流程

    真空干燥箱的工作流程
    真空干燥箱主要適用于IC、BGA、精密電子組件、特殊化學藥品、精密儀器 、中藥材、古董名畫等做防潮儲存用。其防潮原理是利用高分子物料理吸濕材質將濕氣帶出，其飽和后，主機板自動加熱，再次循環，此產品是常年插電使用，且功率較小，無需更換耗材，是各類物料做防潮存放的好幫手。
   真空干燥箱簡稱干燥箱，分為250度、300度、400度和500度配置，主要用于各種產品或材料及電子、電工、化工等在恒溫環境下做干燥和各種恒溫適應性試驗。客戶要根據自己不同的需求選配不同的溫度配置。
   真空干燥箱的一般工作流程：
   先確定真空干燥箱工作溫度。典型的預處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內真空度達到某一高真空度后，開始充人氮氣，充到達到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設定時間后，停止充入藥液，進入保持階段，使硅片充分反應。
    當達到設定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業過程，整個反應持續到空間位阻(*基硅烷基較大)阻止其進一步反應，尾氣排放等：多余的蒸汽（尾氣）將由真空泵抽出，排放到廢氣收集管道。在無廢氣收集管道時需做專門處理。真空干燥箱是專業為干燥熱敏性、易分解和易氧化物質而設計的，工作時可使工作室內保持一定的真空度，并能夠向真空干燥箱的內部充入惰性氣體，特別是一些成分復雜的物品也能進行快速干燥，溫控儀采用韓國進口HM品牌的智能型數字溫度調節儀進行溫度的設定、顯示與控制。
　　“相對真空度”是指被測對象的壓力與測量地點大氣壓的差值。真空干燥箱在沒有真空的狀態下(即常壓時)，表的初始值為0。當測量真空時，它的值介于0到-101.325KPa(一般用負數表示)之間。